PHI 710 (Physical Electronics/PHI)

Система сканирующей оже-микроскопии PHI 710 – это уникальный высокопроизводительный аналитический инструмент для получения информации об элементном и химическом составе поверхностных слоев твердотельных образцов, наноструктур, тонких пленок и веществ на границах раздела методом электронной оже-спектроскопии (ЭОС). В отличие от установок оже-спектроскопии, построенных на базе обычных СЭМ, система PHI 710 обеспечивает оптимальное сочетание чувствительности, пространственного и энергетического разрешения, что позволяет решать даже самые сложные задачи в области ЭОС. Ключевые особенности Регистрация оже- и вторичных электронов (ВЭ) с высоким пространственным разрешением Отличное качество изображений реальных (шероховатых) поверхностей Цилиндрический зеркальный анализатор (ЦЗА) с превосходным энергетическим разрешением Стабильные результаты при исследовании диэлектриков Эффективное профилирование по глубине Современное, удобное в использовании программное обеспечение. Высокое пространственное разрешение Хорошая стабильность результатов при анализе наноструктур Система PHI 710 имеет в своем составе современную электронно-лучевую колонну, устройство прецизионного позиционирования образцов, а также продвинутую вибро- и теплоизоляцию, что предоставляет полный спектр возможностей для формирования изображений и проведения оже-спектроскопии наноструктур с увеличением до 500 тыс. крат и выше. Вдобавок, система обеспечивает высокую стабильность параметров при долговременной регистрации изображений. Стандартный комплект поставки Цилиндрический зеркальный анализатор (ЦЗА); Автоэмиссионная электронная пушка коаксиальной конструкции (максимальное ускоряющее напряжение 25 кВ); Детектор вторичных электронов сцинтилляторного типа; Модуль обеспечения высокого энергетического разрешения; 5-осевой столик для размещения образцов; Ионная пушка с функцией торможения пучка и источником ионов Ar+ (максимальное ускоряющее напряжение 5 кВ); Управляющее программное обеспечение SmartSoft-Auger; Программное обеспечение для обработки и архивации данных MultiPak; Кожух для защиты от акустических помех; Вакуумная камера и ионные насосы. Дополнительные устройства • Камера для загрузки образцов • Система позиционирования образца • Устройство для создания изломов без извлечения из системы • Ёмкость для переноса образца • Детектор энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (ЭДС, EDS) • Детектор дифракции обратнорассеянных электронов (ДОРЭ, EBSD) • Детектор отраженных электронов (ОЭ, BSE)