Система подготовки образцов 1080 PicoMill TEM cовмещает низкоэнергетический источник ионов инертного газа и колонну СЭМ с разнообразными детекторами для проведения оптимальной подготовки образца для ПЭМ (TEM). Разработана специально для интеграции в рабочий процесс ФИП (FIB) и позволяет достигнуть с первого раза правильной подготовки образца.
Область применения
микроэлектроника, подготовка полупроводниковых образцов для анализа в ПЭМ (TEM);
любые другие образцы, требующие оптимальных результатов подготовки;
идеальный вариант для случаев, когда образец готовится с помощью ФИП (англ. FIB) для анализа в ПЭМ с использованием современных технологий коррекции аберраций.
Система 1080 PicoMill является идеальным дополнением к технологии FIB - она добавляет расширенные возможности получения оптимального качества образца при одновременном повышении производительности подготовки образцов за счет перевода процесса финального утонения в автономный режим. С 1080 PicoMill вы получаете возможность точного и предсказуемого утонения образца, что снижает вероятность повторных операций и оптимизирует время обработки. Это увеличивает ваши возможности по производству образцов высшего качества, а также общую производительность процесса пробоподготовки.
1080 PicoMill® TEM Fischione - система пробоподготовки для ПЭМ с ультра-низкоэнергетическим ионным пучком 1080 PicoMill® TEM Fischione - система пробоподготовки для ПЭМ с ультра-низкоэнергетическим ионным пучком
Оформите заявку на услугу, мы свяжемся с вами в ближайшее
время и ответим на все интересующие вопросы.
