ExSolve WTP DualBeam (Thermo Fisher Scientific)

Можно изготовить пластины толщиной 20 нм для конкретного участка на цельных пластинах диаметром до 300 мм Удовлетворяет потребности, требующие автоматизированного отбора проб с высокой пропускной способностью на передовых технологических узла Сфокусированный ионный пучок (FIB) для высокоточного травления SEM для разработки рецептов и контроля Оптический микроскоп для регулировки шаблонов Программное обеспечение для разработки рецептов Профессиональная автономная лицензия iFast Developers Kit позволяет клиентам работать с рецептами на отдельном, предоставленном клиентом компьютере с USB-ключом для обеспечения функциональности Отдельная рабочая станция главного компьютера (Windows® 7) для подключения к сетям клиентов Полностью совместимый с E95 пользовательский интерфейс для автоматизированной работы. Имеется встроенный шлюз для загрузки пластин Разработана для соответствия SEMI S2-0706, S8-0711 и CE Полная совместимость с автоматизированным рабочим процессом TEM: ETM (ExSolve TEMLink Metrios) Существует возможность подключения до 5 портов GIS (система подачи газа) Для FIB & SEM доступно напыления для углерода, вольфрама или TEOS Модуль внешнего интерфейса оборудования Brooks JET ™ (EFEM) - интегрированная система атмосферного переноса с роботом, выравнивателем, портами нагрузки и органами управления, установленными на встроенной раме Опции ExSolve 2 WTP