NanoTOF II (Physical Electronics / PHI)

Система тандемной времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии PHI nanoTOF II -  это уникальная система анализа поверхности с возможностью работы в режиме параллельных синхронных исследований ВП-ВИМС (MS1) и тандемном режиме построения изображений (MS2). Наилучшее разрешение изображений ВП-ВИМС составляет менее 70 нм, что не может быть достигнуто без использования тандемной времяпролетной масс-спектрометрии.

Основные сведения
Система PHI nanoTOF II с технологией параллельной масс-спектрометрии спроектирована таким образом, чтобы обеспечить максимально возможные аналитические характеристики. Основной подход, использованный при конструировании системы, заключается в стремлении оптимизировать и объединить различные показатели, после чего представить их в простом для восприятия виде. Этим условиям в полной мере удовлетворяет специально разработанный специалистами PHI режим анализа HR2, при котором достигаются высокие значения латерального разрешения и разрешения по массам одновременно.
С помощью запатентованной технологии PHI Parallel Imaging MS/MS осуществляется визуальное представление большого объема масс-спектрометрической информации с функцией однозначной идентификации молекул в любой указанной пользователем области. Поскольку данные ВП-ВИМС и тандемной масс-спектрометрии извлекаются одновременно из одного и того же объема вещества, результаты, полученные в режимах MS1 и MS2, всегда находятся в идеальном сочетании. Таким образом, система позволяет накапливать изображения и идентифицировать пики спектрограмм в едином цикле.
Запатентованный масс-спектрометр обеспечивает превосходное отображение рельефных образцов, а также регистрацию спектров с высоким разрешением по массам и исключительной точностью определения массы во всем диапазоне. Технология параллельной масс-спектрометрии компании PHI дает исследователю возможность уверенной идентификации пиков масс-спектра и обеспечивает быстрое формирование изображений в режиме одновременной работы двух спектрометров на частоте более 8 кГц.

В системе анализа поверхности PHI nanoTOF II впервые реализована возможность полноценной идентификации ионов большой массы, что позволяет при анализе пиков масс-спектра перейти от теоретических предположений к однозначной трактовке результатов.
Предметный столик имеет 5-осей перемещения и активную систему нагрева/охлаждения образца (мишени) в процессе исследований.
Ключевые особенности
Тандемная масс-спектрометрия (параллельная регистрация изображения и масс-спектров)

Полноценная идентификация ионов большой массы
Превосходная эффективность сбора данных с высоким разрешением по массам, значительной точностью определения массы и оптимальными возможностями по обнаружению полезного сигнала на фоне шума при исследовании мишеней с различной степенью шероховатости поверхности

Специальная конструкция масс-спектрометра позволяет проводить элементный и молекулярный анализ рельефных поверхностей, сильно текстурированных материалов и образцов, обработанных сфокусированным ионным пучком (FIB/ФИП)

Высокое пространственное и спектральное разрешение химического анализа одновременно с жидкометаллическим источником кластерных ионов и изображения HR2

Создание и анализ сечений в 2D и 3D виде (информация о составе сложных образцов в двух- и трехмерном виде)
Бережное профилирование органических соединений по глубине с газовым источником кластерных ионов

Построение профилей и изображений с минимумом артефактов с источником кластерных ионов C60


Высокоскоростное ионно-лучевое травление с большой плотностью тока и низким ускоряющим напряжением благодаря профилированию по глубине ионами Ar+/O2+ и Cs+

Повышенный уровень автоматизации и интуитивно понятное ПО
Стандартный комплект поставки

Масс-анализатор с технологией параллельной масс-спектрометрии МС/МС

Пушка с жидкометаллическим источником кластерных ионов Bi, Au или Ga (максимальное ускоряющее напряжение 30 кВ)

Двулучевая система нейтрализация заряда

5-осевой предметный столик

Обзорная оптическая камера

Детектор вторичных электронов

Программное обеспечение для управления SmartSoft-TOF и обработки данных TOF-DR

Аналитическая вакуумная камера с четырьмя портами для пушки-источника первичных ионов

Турбомолекулярный насос высокой производительности

Встроенное оборудование для отжига загрязнений

Дополнительные устройства
• Импульсная пушка с источником ионов C60 (максимальное ускоряющее напряжение 20 кВ)
• Пушка с газовым источником кластерных ионов Ar2500 (максимальное ускоряющее напряжение 20 кВ)
• Пушка с источником ионов Cs (максимальное ускоряющее напряжение 2 кВ)
• Пушка с газовым источником моноионов Ar/O2 (максимальное ускоряющее напряжение 5 кВ)
• Модуль формирования потока кислорода для повышения выхода вторичных ионов
• Пушка со сфокусированным пучком ионов Ga (максимальное ускоряющее напряжение 30 кВ)
• Модуль нагрева/охлаждения предметного столика
• Устройство быстрого охлаждения образцов в загрузочной камере
• Модуль высокотемпературного нагрева предметного столика
• Модуль быстрого вращения мишени
• Ёмкость для переноса образца
• Перчаточный ящик загрузочной камеры
• Устройство подачи циклического напряжения на предметный столик
• Камеры для пробоподготовки
• Адаптер для трансфера образцов в системы РФЭС/ЭОС